1.Si Coating

 ＊表面Coating材料:Si

 ＊可對應基材:Al(鋁)

2.Y2O3

 ＊表面Coating材料:Y2O3 (純度:99.9%)

 ＊可對應基材:Al(鋁),Alumina(陶瓷材料),Quartz(石英玻璃)

 (Y2O3素材販賣 →有明株式会社)

3.其他 : Alumina表面處理...等

4.石英坡璃表面金屬鍍膜

 ＊表面Coating材料:Au, Ta, Mo, Y2O3

 ＊可對應尺寸:500x500mm

     97年 年中之後:800mm x 800mm (預告)