【新產品】300mm■空冷型EXCIMER照射裝置

 

照射區域

300mm t=28mm(最大)

照度

75mW/cm2 可調整照度

積算光量

72.9mJ/ cm2(電壓最大時)

N2+CDA•1m/min•1回搬送•Gap2mm

氛圍氣

氮氣導入•氧氣濃度控制•大氣

照射距離

1mm∼28mm(每1mm可調整)

搬送速度

2mm/sec∼60mm/sec

尺寸(包含突起部位)

W524xD927xH380mm 25kg

臭氧排氣裝置

W330xD320xH260mm 13kg

導入氣體(最大)

氮氣20L/min, CDA5L/min

6mm one touch轉接頭IN 2個

※無N2/CDA也可處理

電源

AC100V 50/60Hz 1個 計1KVA

  

 　

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    *各種工業用精密陶瓷材料(CERAMIC)

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