【新產品】300mm■空冷型EXCIMER照射裝置
照射區域 |
300mm t=28mm(最大) |
照度 |
75mW/cm2
可調整照度 |
積算光量 |
72.9mJ/ cm2(電壓最大時) N2+CDA•1m/min•1回搬送•Gap2mm |
氛圍氣 |
氮氣導入•氧氣濃度控制•大氣 |
照射距離 |
1mm∼28mm(每1mm可調整) |
搬送速度 |
2mm/sec∼60mm/sec |
尺寸(包含突起部位) |
W524xD927xH380mm 25kg |
臭氧排氣裝置 |
W330xD320xH260mm 13kg |
導入氣體(最大) |
氮氣20L/min, CDA5L/min
6mm one touch轉接頭IN
2個 ※無N2/CDA也可處理 |
電源 |
AC100V
50/60Hz 1個 計1KVA |
開普科技營業地址 |
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